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| 名稱 | 電漿清洗機 |
| 英文名稱 | O2 Plasma Cleaner |
| 功能說明 | 利用電漿原理來清潔試片表面之油脂及殘膠 |
| 儀器服務項目 |
1.清潔試片表面 2.改質 |
| 儀器廠牌 | HARRICK PLASMA |
| 型號 | PDC-001 |
| 儀器規格 |
Chamber :6” *6.5 “ Input : 200W Low :7.2W Medium :10.2W High :29.6W |
| 樣品準備及收費 |
訓練費用($/人)－300元 檢定費用($/人)－200元 委託操作費用($/hr)－300元 |
| 儀器放置位置 | Red Building 1F, Shared Micro-Nano Technology Laboratory - Clean Room |
| 更新日期 | 2019/04/23 |
| 實驗室名稱 | 微奈米科技共用實驗室 |
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