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名稱 掃描式電子顯微鏡
英文名稱 Scanning Electron Microscope
功能說明 1.表面結構之觀察
儀器廠牌 HITACHI
型號 SU3800
儀器規格

1.解析度SE 3.0nm/BSE 4.0nm/EDS 129ev

2.加速電壓範圍：0.3~30 KV

3.電子槍：Cold Field Emission Electron Gun
樣品準備及收費

 

訓練費用 檢定費用 校內委託操作費用 自行操作費用 備註
700元/人 400元/人 500元/hr 300元/hr

EDS拍攝：300元/次

鍍白金：300元/次
注意事項 試片不得具有磁性、揮發性、及腐蝕性
儀器放置位置 Red Building 1F, Shared Micro-Nano Technology Laboratory - Clean Room
更新日期 2022/05/27
實驗室名稱 微奈米科技共用實驗室
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